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Gaseousargonistasteless,colorless,odorless,noncorrosive,andnonflammable.Argonbelongstothefamilyofrareinertgase... 查看詳情

Oxygenisthesecondlargestcomponentoftheatmosphere,comprising20.8%byvolume.Gaseousoxygeniscolorless,odorless,tas... 查看詳情

Nitrogenmakesupthemajorportionoftheatmosphere(78.03%byvolume,75.5%byweight).Gaseousnitrogenisinert,colorless,o... 查看詳情

氣體滅火在我國始于80年代，盛于90年代，新型滅火方式和滅火劑在應(yīng)用過程中經(jīng)歷了許多變化，在火險隱患、火災(zāi)撲救、環(huán)境保護(hù)、經(jīng)濟(jì)實(shí)用等諸多因素中選擇一種滿意的消防設(shè)防方案，常常十分復(fù)雜。本文就此作一些討論，僅供同仁參考 查看詳情

SiH4 矽甲烷……製程氣體（洩漏有爆炸危險）NH3 氨……製程氣體N2O 笑氣……製程氣體PH3 磷化氫……製程氣體N2 氮?dú)狻u程氣體，常用為破真空Vent或吹乾的媒介H2 氫氣……製程氣體NF3 氟化氮……製程氣... 查看詳情

從日本半導(dǎo)體制程潔凈及蝕刻用氣體之現(xiàn)況反觀國內(nèi)之發(fā)展NF3在執(zhí)行CVD腔體潔凈(ChamberCleaning)扮演重要的角色，清潔效率極高，近年來受到「京都議定書」對全氟化物PFC（PerfluorinatedComp... 查看詳情

目前太陽電池用硅材料大多來自半導(dǎo)體硅材料的外品和單晶硅的頭尾料,不能滿足光伏工業(yè)發(fā)展的需要。同時硅材料正是構(gòu)成晶體硅太陽電池組件成本中很難降低的部分,因此為了適應(yīng)太陽電池高效率、低成本、大規(guī)模生產(chǎn)發(fā)展的需要,最有效的辦法... 查看詳情

介紹了年產(chǎn)300萬硅拋光片、60萬硅外延片，主要生產(chǎn)4~12英寸的硅拋光片以及6~8英寸的硅外延片的微電子工廠的氣體需求。主要有三氯氫硅、氯化氫、磷烷、乙硼烷、氫氣和氮?dú)?。特種氣體存放于進(jìn)口的特氣鋼瓶柜，氯化氫HCl、三... 查看詳情

甲烷CH4國家標(biāo)準(zhǔn) 查看詳情

標(biāo)準(zhǔn)氣體屬于標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)。標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)是高度均勻的，良好穩(wěn)定和量值準(zhǔn)確的測定標(biāo)準(zhǔn)，它們具有復(fù)現(xiàn)，保存和傳遞量值的基本作用，在物理，化學(xué)，生物與工程測量領(lǐng)域中用于校準(zhǔn)測量儀器和測量過程，評價測量方法的準(zhǔn)確度和檢測實(shí)驗(yàn)室的檢測能力，... 查看詳情