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    電子工業(yè)用氣體國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) 高純氯Cl2

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    電子工業(yè)用氣體國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) 高純氨NH3

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    電子工業(yè)用氣體國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) 氮?dú)釴2

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    電子工業(yè)用氣體國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) 三氯化硼

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    電子氣體產(chǎn)業(yè)動(dòng)態(tài)

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    2006年是“十一五”計(jì)劃的開局年,也是中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)繼續(xù)快速前行的發(fā)展年。2006年蘇州市新成立的集成電路企業(yè)及配套企業(yè)近20家,其中包括三星電子(蘇州)半導(dǎo)體第二工廠、晶方半導(dǎo)體科技(蘇州)有限公司、蘇州震坤科技有... 查看詳情

    電子工廠特種氣體系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范

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    本規(guī)范的編寫將適用于集成電路/太陽能芯片生產(chǎn)廠、新型顯示器件廠(TFT/PDP廠,如上海華虹-NEC、德芯電子(昆山)有限公司)高純化學(xué)品配送系統(tǒng)管道的設(shè)計(jì)、施工及驗(yàn)收。主要技術(shù)內(nèi)容包括:高純化學(xué)品(含研磨液)配送系統(tǒng)設(shè)... 查看詳情

    微電子工業(yè)特殊氣體貯存及使用守則

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    本守則旨在就微電子工業(yè)貯存和使用特殊氣體而申領(lǐng)危險(xiǎn)品牌照的事宜提供指引。本守則列明關(guān)于貯存所的坐落地點(diǎn)、設(shè)計(jì)和建造的規(guī)定(例如機(jī)械通風(fēng)系統(tǒng)、氣體偵測(cè)系統(tǒng)、滅火系統(tǒng)、電力裝置等),以及發(fā)牌當(dāng)局所訂明須遵守的相關(guān)條文。此外,... 查看詳情

    超臨界二氧化碳(CO2)清洗鈾樣品技術(shù)研究

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    針對(duì)鈾樣品在機(jī)械加工過程中殘留的幾種常見冷卻液成分:水、機(jī)油和三乙醇胺,開展了超臨界二氧化碳對(duì)鈾樣品的清洗實(shí)驗(yàn),探討了超臨界二氧化碳對(duì)鈾樣品表面常見機(jī)械加工殘留物的清洗效果,同時(shí)對(duì)經(jīng)超臨界二氧化碳浸泡的鈾樣品表面化學(xué)成分... 查看詳情

    真空技術(shù)與設(shè)備3

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    真空技術(shù)是使氣體壓強(qiáng)低于地面大氣壓強(qiáng)的技術(shù)。真空是指壓力遠(yuǎn)小于101.325千帕(kPa)(即1大氣壓)的稀薄氣體空間。在真空技術(shù)中除國(guó)際單位制的壓力單位Pa外,常以托(Torr)作為真空度的單位。1托等于1毫米高的汞柱... 查看詳情

    真空技術(shù)與設(shè)備2

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    真空技術(shù)是使氣體壓強(qiáng)低于地面大氣壓強(qiáng)的技術(shù)。真空是指壓力遠(yuǎn)小于101.325千帕(kPa)(即1大氣壓)的稀薄氣體空間。在真空技術(shù)中除國(guó)際單位制的壓力單位Pa外,常以托(Torr)作為真空度的單位。1托等于1毫米高的汞柱... 查看詳情
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