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報告摘要：　　電子特種氣體是光電子、微電子等領域，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、半導體發(fā)光器件和半導體材料制造過程不可缺少的基礎性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)... 查看詳情

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