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自主開發(fā)的超純氫氣純化裝置建成
2016-6-2 15:14:21
0
由中國(guó)科學(xué)院大連化學(xué)物理研究所甲烷高效轉(zhuǎn)化新材料與新過程研究組研制的高性能金屬鈀復(fù)合膜材料和
800m3/h
規(guī)模超純氫氣純化技術(shù)進(jìn)行了工業(yè)應(yīng)用示范試驗(yàn)并獲得成功。這是我國(guó)自主開發(fā)的國(guó)際上首套利用廉價(jià)金屬鈀復(fù)合膜進(jìn)行超純氫氣純化的工業(yè)應(yīng)用示范裝置。
由科技部高技術(shù)中心組織的專家組對(duì)大連化物所和華海制氫設(shè)備有限公司承擔(dān)的國(guó)家“
863
”膜專項(xiàng)課題“超純氫氣分離膜材料及規(guī)?;苽浼夹g(shù)”進(jìn)行了現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試。在
800m3/h
裝置上,采用純度為
99.92%
的氫氣作為原料,可以獲得純度為
99.99995%
的超純氫氣,氫氣回收率達(dá)到
91.2%
,氫氣產(chǎn)量為
847m3/h
。
同時(shí),專家還對(duì)另外一套
30m3/h
超純氫技術(shù)示范裝置進(jìn)行了現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試,結(jié)果如下:采用純度為
99.9995%
的氫氣作為原料氣,可以獲得純度
>99.999999%
的超純氫氣,氫氣回收率達(dá)到
91.68%
,
氫氣
產(chǎn)量為
30.66m3/h
。
超純氫氣廣泛應(yīng)用于電子、半導(dǎo)體、
LED
和多晶硅等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)。該工業(yè)應(yīng)用示范裝置的成功開車,標(biāo)志著我國(guó)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的超純氫氣純化技術(shù),可以為上述戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)提供廉價(jià)的超純氫氣原料。
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