工業(yè)級(jí) |
95% |
化學(xué)純級(jí) |
99.0% |
高純級(jí) |
99.9%~99.97% |
研究級(jí)和CVD級(jí) |
99.99% |
超高級(jí)純 |
99.995% |
項(xiàng)目 |
指標(biāo) | ||
|
優(yōu)等品 |
一等品 |
合格品 |
甲烷純度/% |
99.995 |
99.99 |
99.9 |
乙烷含量/10-6 |
15 |
25 |
600 |
氧(氬)含量/10-6 |
5 |
10 |
50 |
氮含量/10-6 |
15 |
35 |
250 |
氫含量/10-6 |
5 |
10 |
50 |
水含量/10-6 |
5 |
15 |
50 |