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電子工業(yè)氣體六氟化硫、氯化氫技術(shù)指標(biāo)

電子工業(yè)用六氟化硫（SF6）
項(xiàng)目名稱		范圍	指標(biāo)
SF6純度（體積分?jǐn)?shù)）/10^-2		≥	99.99
空氣含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6		≤	50.0
CF4含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6		≤	15.0
H2O含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6		≤	8.0
酸度（以HF計(jì)）（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6		≤	1.0
可水解氟化物（以HF計(jì)）（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6		≤	1.0
其他雜志（CO2、C2F6、C2F8、SO2F2、S2OF2、S2OF10）（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6		≤	15.0
雜志總和（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6		≤	100
顆粒			由供需雙方商定
電子工業(yè)用氯化氫（HCL）
項(xiàng)目名稱	范圍			指標(biāo)
Hcl純度（體積分?jǐn)?shù)）/10^-2	≥			99.999
O2+Ar含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6	≤			1
N2含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6	≤			2
CO含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6	≤			2
CO2含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6	≤			2
CH4含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6	≤			0.5
烴類（C1~C3）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6	≤			1
H2O含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6	≤			1
金屬離子含量（Fe）/10^-6				0.5
其他離子Mn、Zn、Cr、Co、Cu、Ni含量（質(zhì)量分?jǐn)?shù)）/10^-6				-