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高純氯化氫的制備方法

2015-11-19 17:10:36

氯化氫為無(wú)色，有毒，腐蝕性的不燃燒氣體，比空氣重，對(duì)上呼吸道有強(qiáng)刺激，對(duì)眼、皮膚、黏膜有腐蝕。遇潮濕的空氣產(chǎn)生白煙，極易溶于水?；瘜W(xué)級(jí)氯化氫含量為99.9%，高純氯化氫含量為99.999%。

高純氯化氫是集成電路生產(chǎn)中硅片蝕刻，鈍化和外延等工藝的重要材料，也可以用于金屬冶煉，光導(dǎo)通訊和科學(xué)研究等領(lǐng)域。隨著大規(guī)模集成電路的發(fā)展，對(duì)氯化氫純度的要求越來(lái)越高，對(duì)其中雜質(zhì)的含量要求越來(lái)越苛刻，尤其要求嚴(yán)格限制碳?xì)浠衔锖吞佳趸衔锏暮?，乙方硅片加工過(guò)程中C的形成。國(guó)內(nèi)外現(xiàn)在制備高純氯化氫的方法有很多，今天小譜就給大家收集了幾種。

1：解吸法。20世紀(jì)70年代以前電子工業(yè)用高純氯化氫的制備一直是將濃硫酸滴加到濃鹽酸中，將其中的水吸收掉，使過(guò)飽和的氯化氫氣體析出。

2：鹽酸脫析法。將濃鹽酸置于脫析塔中加熱脫析制氯化氫氣體。鹽酸脫析法制高純氯化氫廣泛應(yīng)用于PVC、氯丁二烯和高純鹽酸等生產(chǎn)中。此方法生產(chǎn)的氯化氫氣體純度在99.9%以上。

3：合成法。氫和氯在合成爐中進(jìn)行燃燒反應(yīng)生成氯化氫氣體是八十年代初為適應(yīng)我國(guó)電子工業(yè)的迅速發(fā)展而提出的，在技術(shù)上是較先進(jìn)的方法。此方法生產(chǎn)的氯化氫氣體純度在99.99%以上。

4：工業(yè)副產(chǎn)酸脫析法。隨著鹽酸脫析法的逐步推廣，副產(chǎn)酸脫析生產(chǎn)氯化氫的工藝已廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)。它是通過(guò)稀酸在絕熱吸收塔吸收有機(jī)氧化物生產(chǎn)中的副產(chǎn)氯化氫，提濃后，進(jìn)入解析吸塔脫析出高濃氯化氫氣體。此方法生產(chǎn)的氯化氫氣體純度在99.99%以上。

5：石油化工副產(chǎn)氯化氫提純法。目前電子級(jí)氯化氫出口國(guó)，如美國(guó)，主要是以石油化工副產(chǎn)氯化氫作為原料來(lái)制備高純氯化氫。

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