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高純四氟化碳高純氣體等電子特種氣體國產(chǎn)化進程加速

2012-7-4 14:13:04

近幾年來，隨著我國超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，電子氣體市場需求量明顯增長，電子特種氣體的國產(chǎn)化已是大勢所趨。記者在不久前召開的全國特種氣體第十四次年會上了解到，我國在國產(chǎn)化方面取得可喜進展：國產(chǎn)高純氣體高純氨改變了國外氣體公司壟斷市場的格局，高純四氟化碳“有價無貨”時代也宣告結(jié)束，高純氯化氫已成功打開國內(nèi)市場。

高純氨：國內(nèi)企業(yè)將成主力軍

高純氨作為電子工業(yè)中氮化膜的成膜氣體，是化學(xué)氣相沉積（CVD）重要的“氮”源。光明化工研究設(shè)計院總工程師孫福楠介紹說，2010年，國產(chǎn)高純氨在太陽能領(lǐng)域發(fā)揮了巨大的作用。由于國產(chǎn)高純氨進入市場，改變了國外氣體公司壟斷市場的局面。

據(jù)上海浦江特氣總經(jīng)理劉煒煒介紹，國外公司中除林德、法液空、日本大陽日酸等在國內(nèi)建分裝廠外，目前昭和電工、空氣化學(xué)品（AP）、住友等也已在國內(nèi)建立了高純氨工廠，以應(yīng)對競爭的加劇。面對這種局面，孫福楠顯得十分自信，他介紹說，目前僅光明院一家每年就可以生產(chǎn)上千噸高純氨，國產(chǎn)高純氨正逐步占領(lǐng)國內(nèi)市場。今后也必將成為中國IC、LED、太陽能電池等領(lǐng)域的主力，這只是一個時間問題。

高純四氟化碳：“有價無貨”時代已經(jīng)結(jié)束

孫福楠介紹說，金融危機暴發(fā)前，由于國內(nèi)不具備四氟化碳規(guī)?；a(chǎn)能力，有錢也買不到產(chǎn)品，市場經(jīng)常出現(xiàn)“有價無貨”的現(xiàn)象。但隨著國產(chǎn)高純四氟化碳的入市，現(xiàn)在“有價無貨”時代已經(jīng)結(jié)束。據(jù)佛山市華特氣體有限公司副總經(jīng)理傅鑄紅介紹，目前國內(nèi)市場每年需要高純四氟化碳約1000噸，純度達99.9995%的國產(chǎn)貨基本可滿足國內(nèi)需求。

我國制氟技術(shù)的進步主要得益于軍工技術(shù)的支撐，中核紅華特種氣體股份有限公司、黎明化工研究院、中船重工第七一八研究所和天津核工業(yè)理化工程研究院等長期以來依托雄厚的技術(shù)力量，為我國制氟技術(shù)的進步提供了重要的技術(shù)支持。

據(jù)了解，高純四氟化碳氣廣泛應(yīng)用于硅材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。我國目前有多家氣體公司如北京綠菱氣體科技有限公司、佛山市華特氣體有限公司等生產(chǎn)高純四氟化碳。

高純氯化氫：成功打開國內(nèi)市場

高純氯化氫主要用于單晶硅片的拋光和外延，是硬質(zhì)合金的重要原材料。北京華宇同方化工科技開發(fā)有限公司總經(jīng)理張吉瑞告訴記者，目前我國每年需求高純氯化氫100噸左右，一半以上靠進口。金融危機暴發(fā)前，高純氣體中高純氯化氫國內(nèi)市場一直被國外公司壟斷，國產(chǎn)品牌很難打進去。華宇同方轉(zhuǎn)變銷售策略，將產(chǎn)品通過國外的中介商銷售，獲得了他們的認可，并逐步贏得了下游客戶的信任。金融危機來臨后，華宇同方趁國外企業(yè)修整之機迅速打開了國內(nèi)市場。

孫福楠說，電子氣體所涉及的不僅僅是一個產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)問題，也不單純是一個資金投入的問題，首先要解決的關(guān)鍵是技術(shù)，國產(chǎn)電子氣體一旦在市場上站穩(wěn)，必將顯示出其巨大的生命力、強大的競爭力。高純氯化氫的國產(chǎn)化成功，無疑為其他電子氣體的發(fā)展提供了借鑒。

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