在微電子、光電子器件生產(chǎn)過程中,從芯片生長(zhǎng)到最后器件的封裝,幾乎每一步、每一個(gè)環(huán)節(jié)都離不開電子氣體,因此電子氣體被稱為半導(dǎo)體材料的“糧食”和“源”。電子氣體成本占IC材料總成本的5%-6%,雖然看似占比不大,但是很大程度上決定了半導(dǎo)體器件性能的好壞。電子氣體純度每提高一個(gè)數(shù)量級(jí),都會(huì)極大地推動(dòng)半導(dǎo)體器件質(zhì)的飛躍。

電子特氣行業(yè)的技術(shù)壁壘。

一是深度提純技術(shù)難度較大。以硅烷為例,將其純度由4N提純到6N中間有漫長(zhǎng)的道路,除了要解決普通氣態(tài)雜質(zhì)的純化問題,還要將金屬元素凈化到10-9級(jí)和10-12級(jí)。二是包裝和儲(chǔ)運(yùn)跟不上。超高純氣體的生產(chǎn)和應(yīng)用都要求使用高質(zhì)量的氣體包裝儲(chǔ)運(yùn)容器、相應(yīng)的氣體輸送管線、閥門和接口,以避免二次污染的發(fā)生。三是分析檢驗(yàn)觀念落后。國(guó)內(nèi)對(duì)電子氣體生產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域分析檢測(cè)技術(shù)的研究開發(fā)工作不夠重視。

目前部分產(chǎn)品已經(jīng)獲突破,國(guó)產(chǎn)化率在30%。

目前國(guó)內(nèi)在高純硅烷、高純氨、高純笑氣、氖氣等已經(jīng)突破,高純CL2、高純砷烷和高純鍺烷等也突破在即。半導(dǎo)體8英寸上的特種氣體國(guó)產(chǎn)化率已經(jīng)達(dá)到30%以上。但本土電子氣體的生產(chǎn)和供應(yīng)商規(guī)模較小,不能夠?yàn)橛脩籼峁┤轿坏姆?wù),目前大多通過低價(jià)競(jìng)爭(zhēng)的方式占領(lǐng)一點(diǎn)市場(chǎng)份額,利潤(rùn)很薄,甚至虧損。且知識(shí)產(chǎn)權(quán)的保護(hù)形同虛設(shè)。

電子特氣重點(diǎn)上市公司有南大光電和巨化股份。

電子特氣行業(yè)從業(yè)者較多,主要的參與者有中船重工第七一八研究所、南大光電、巨化股份、中昊光明化工、洛陽(yáng)黎明化工、佛山華特氣體、綠菱電子和大連科利德等。其中南大光電和巨化股份是上市公司,南大光電已形成了35噸高純磷烷、15噸高純砷烷的生產(chǎn)能力。巨化股份計(jì)劃投資10.75億元,建設(shè)高純電子氣體項(xiàng)目(一期)高純電子氣體項(xiàng)目(二期)含氟特種氣體項(xiàng)目。

譜源氣體為滿足廣大客戶需求，專業(yè)供應(yīng)各種電子特氣（電子級(jí)六氟化硫，電子級(jí)一氧化碳，高純氫、一氧化氮、三氟化氮、氯化氫等等）