氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理如圖1所示。燈絲發(fā)出的熱電子加速流向陽極，遇到氣體分子后使氣體分子離子化。在離子向離子收集極運動的途中設(shè)置磁場，則離子受洛倫茲力按圓形軌跡運動。離子的質(zhì)量為m，電荷為e，則圓形軌跡的半徑和質(zhì)荷比m/e有關(guān)。合理設(shè)置出口縫隙的位置，使m/e=4，即 He+能穿過縫隙，其他不同于氦質(zhì)荷比的離子因其偏轉(zhuǎn)半徑與儀器的狹縫設(shè)置不同而無法穿過出口狹縫，因此氦質(zhì)譜檢漏儀只能檢測到一價氦離子。使用氦質(zhì)譜檢漏儀，通常要求被檢測空間的真空度在10^-3 Pa以下，檢測精度可達10^-13 Pa·m³·s^-1。

　　氦質(zhì)譜檢漏儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點。靈敏度、反應(yīng)時間、清零時間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標(biāo)。

　　檢測氣體使用氦氣的主要原因如下：

　　(1)對人體和自然環(huán)境沒有毒害；

　　(2)不能燃燒，作業(yè)安全；

　　(3)惰性氣體，和被檢測對象不會發(fā)生化學(xué)反應(yīng)；

　　(4)分子直徑和質(zhì)量小，容易穿過微小縫隙，便于檢漏；

　　(5)通常環(huán)境下保持氣體狀態(tài)，不會堵住微漏孔；

　　(6)真空腔體自身放出的氣體中幾乎不包含氦氣；

　　(7)氦氣在空氣中的存在量僅為5ppm，容易定點查清漏氣位置。

　　由于氦氣比空氣輕很多，向真空腔體噴氦氣檢漏時要從上往下依次操作，否則不利于判定漏點所在。當(dāng)腔體構(gòu)造復(fù)雜，或漏率極小時，可針對重點部位用塑料袋套住，然后向塑料袋內(nèi)部充入氦氣，實現(xiàn)對特定重點部位的檢漏。

　　一般情況下，真空檢漏時要重點關(guān)注以下部位：

　　(1)法蘭接口部位；

　　(2)焊接部位；

　　(3)波紋管部位；

　　(4)其他密封部位。

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