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    氣體知識(shí)

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    六氟乙硅烷《氣體應(yīng)用大全》

    2014-3-6 23:00:17

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    六氟乙硅烷Si2F6
    1.別名·英文名
    六氟化二硅；Disilicon hexafluoride、Hexafluorodisilane．
    2.用途
    含氟非晶硅膜，非晶硅的原料氣。
    3.制法
    (1)
    (2)
    4.理化性質(zhì)
    分子量： 170.16
    升華溫度(101.325kPa)： -19.1℃
    三相點(diǎn)(103.991kPa)： -18.7l℃
    液體密度(0℃)： 5997kg/m3
    氣體密度(0℃)： 7.76kg/m3
    臨界溫度： 71℃
    熔化熱(103.991kPa，-18.7℃)： 95.9598kJ/kg
    氣化熱(103.991kPa，-18.7℃)： 159.933kJ/kg
    升化熱： 255.8928kJ/kg
    蒸氣壓(-50.2℃)： 5.706kPa
    (-24.9℃)： 65.595kPa
    (-6.5℃)： 186.918kPa
    六氟乙硅烷在常溫常壓下為具有強(qiáng)刺激臭的無色有毒氣體，在空氣中不燃燒。在水中水解生成H2、H2SiO4、H2SiF6、
    H2Si2O4等。
    Si2F6+4H2O→6HF+H2Si2O4
    6HF+H2Si2O4→H2+H2SiF6+H4SiO4
    H4SiO4+6HF→4H2O+H2SiF6
    在室溫，即使與氯混合也不反應(yīng)，但是當(dāng)加熱時(shí)產(chǎn)生激烈反應(yīng)而生成SiF4、SiClF2、SiCl2F2等。
    5.毒性·安全防護(hù)
    當(dāng)六氟乙硅烷漏到大氣中時(shí)與水分反應(yīng)生成硅氟酸和氫氟酸。因此，可以認(rèn)為它的毒性和硅氟酸、氫氟酸相同。
    最高容許濃度：2.5mg/m3
    探漏方法，一是靠其強(qiáng)烈的刺激臭，二是靠其在空氣中水解生成的SiO2白煙。
    廢氣直接排大氣是危險(xiǎn)的，而且是防止大氣污染所不允許的。所以，一般用水吸收處理。在用水吸收處理時(shí)，水解產(chǎn)生氫氣，因此，對(duì)氫氣需要采取一定的措施。
    其它參見氟化氫。
     
     
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