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    二氟硅烷《氣體應(yīng)用大全》

    2014-3-6 22:31:29

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    1.別名·英文名
    二氟二氫硅;Difluorosilane.
    2.用途
    含氟非晶硅膜、制造非晶硅的原料氣。
    3.理化性質(zhì)
    分子量: 68.10
    熔點(diǎn): -122.0℃
    沸點(diǎn)(101.325kPa): -77.8℃
    氣體密度: 2.35kg/m3
    熔化熱: 6.148kJ/kg
    氣化熱: 292.092kJ/kg
    臨界溫度: 34℃
    蒸氣壓(-124.3℃): 2.666kPa
    (-98.3℃): 26.664 kPa
    (-87.8℃): 53.329kPa
    比熱容(氣體,25℃): 749.443J/(kg·K)
    二氟硅烷在常溫常壓下為具有腐蝕性的可燃性有毒氣體。長(zhǎng)時(shí)間放置時(shí)緩慢分解,但比SiHF3分解速度慢。
    2SiH2F2→SiH4+SiF4
    在水或苛性蘇打的水溶液中水解產(chǎn)生氫氣。
    與乙醇、氨和胺反應(yīng)。
    參見六氟化二硅。
     
     
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