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砷烷AsH3合成方法及研究
2012-3-5 16:33:55
0
砷烷
是GaAs、GaAsP生長(zhǎng)、N型硅外延、擴(kuò)散、離子注入摻雜等不可缺少的基礎(chǔ)材料,因其劇毒、純度要求高,合成、凈化難度大等因素,目前能制造AsH3的國(guó)家為數(shù)不多,同時(shí)由于局毒性,在當(dāng)今的國(guó)際大背景下,AsH
3
的進(jìn)口十分麻煩。
AsH3
的合成方法非常經(jīng)典,也是目前較為普遍的工藝。制備分兩步:原料的合成采用混合的Zn粉及As粉在600~620攝氏度下高溫合成,其反應(yīng):Zn+As→Zn
3
As
2
;另一步是用Zn
3
As
2
同稀硫酸作用,Zn
3
As
2
+H
2
SO
4
→AsH
3
+ZnSO
4
,產(chǎn)品的收率為80%以上。生成的AsH
3
雜質(zhì)的含量取決于Zn
3
As
2
的純度,通過(guò)系列的提純單元,AsH
3
純度大于99.9995%以上。
國(guó)外有學(xué)者研究出新的無(wú)機(jī)氫化物的合成方法,只是沒(méi)有形成規(guī)?;?。該工藝的優(yōu)點(diǎn)是可以生產(chǎn)系列有價(jià)值的氫化物:
PCl
3
+LiH→
PH3
AsCl
3
+LiH→
AsH3
SbCl
3
+LiH→SbH
3
相信這種新技術(shù)或許會(huì)對(duì)一些烷類(lèi)氣體合成的突破起到重大的作用。
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