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單頻準(zhǔn)分子激光

2011-12-15 10:04:31

所謂的單頻準(zhǔn)分子激光就是脈沖氣體激光，在電流通過時(shí)被激活，釋放出某一波長的單色光。氣體是由惰性氣體和鹵素混合而成，激活的惰性氣體和鹵素可形成鹵化物 “Ｅｘｃｉｍｅｒ”一詞來自激態(tài)分子的意思，即受激態(tài)準(zhǔn)分子是一種激態(tài)二聚體“ＥｘｃｉｍｅｒＤｉｍｅｒ”，這兩個(gè)單詞組合成 “Ｅｘｃｉｍｅｒ”。

目前應(yīng)用的單頻準(zhǔn)分子激光主要有以下幾種：氬氟（ＡｒＦ）準(zhǔn)分子激光其波長１９３ｎｍ；氪氟（ＫｒＦ）準(zhǔn)分子激光其波長２４８ｎｍ；氙氯（ＸｅＣｌ）準(zhǔn)分子激光其波長３０８ｎｍ；氙氟（ＸｅＦ）準(zhǔn)分子激光其波長３５１ｎｍ等。單頻準(zhǔn)分子激光是連續(xù)的脈沖氣體激光，釋放的光波長在紫外線范圍內(nèi)，脈沖寬度為１０～３０ｎｓ，頻率為０～３５Ｈｚ，４種單頻準(zhǔn)分子激光的波長為氣體特異性的。

目前普遍使用的ArF193以及Xecl308準(zhǔn)分子激光已經(jīng)在醫(yī)學(xué)領(lǐng)域和光電行業(yè)得到了廣泛的應(yīng)用，氣體按科學(xué)的方法分析，從稀有氣體中去除所有有害的雜質(zhì)。氣體分析證明，這些雜質(zhì)的存在會影響準(zhǔn)分子激光器達(dá)到最佳的使用性能。氣體公司在全球銷售這些優(yōu)質(zhì)的稀有氣體和平衡氣體，以滿足所有準(zhǔn)分子激光器的使用需求。全球最大的準(zhǔn)分子激光器氣體制造商已經(jīng)證明：和任何激光器相關(guān)的任何氣體或氣體混合物，都對激光器的性能造成極其重要的影響，這些影響包括:
A 脈動(dòng)能量
B 輸出功率
C 充填一次氣體的使用壽命
D 穩(wěn)定性（一個(gè)脈動(dòng)到另一個(gè)脈動(dòng)）

為了確保激光器性能的最優(yōu)化，氣體的化學(xué)家研究團(tuán)隊(duì)認(rèn)真分析每種氣體化合物，特別監(jiān)控對激光器性能有害的雜質(zhì)氣體，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量。這些分析主要針對（但不僅限于）水分、氧氣、碳?xì)浠衔?、和其他一切不必要的雜質(zhì)。

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