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產品技術指標
O2_電子工業(yè)用氣體 氧國家標準GB_T 2014604-2009
2019-6-21 11:18:10
0
一、范圍
本標準規(guī)定了電子工業(yè)用氧的技術要求,試驗方法及包裝、標志、貯運及安全。
本標準適用于以深冷法、電解法提取的氣態(tài)或液態(tài)氧,以及經純化方法得到的
氧
。它們主要用于二氧化硅化學氣相淀積,用作氧化源和生產高純水的反應劑,用于等離子體蝕刻和剝離、光導纖維。
分子式:O
2
二、技術要求
電子工業(yè)用氣體氧的質量應符合表1的要求
三、試驗方法
1、氧純度/含量
氧純度的體積分數不低于99.98X10
-2
的按以下公式計算:
W=100-(W1+W2+W3+W4+W5+W6+W7+W8+W9+W10)x10
-4
W——氧純度(體積分數)/10
-2
W1——氫含量(體積分數)/10
-6
W2——氬含量(體積分數)/10
-6
W3——氮含量(體積分數)/10
-6
W4——一氧化碳含量(體積分數)/10
-6
W5——二氧化碳含量(體積分數)/10
-6
W6——總烴含量(體積分數)/10
-6
W7——一氧化氮含量(體積分數)/10
-6
W8——一氧化亞氮含量(體積分數)/10
-6
W9——氪含量(體積分數)/10
-6
W10——水含量(體積分數)/10
-6
四、安全要求
1、氧的生產、使用以及貯運應符合GB 16912《氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程》(2000年) 、《壓力容器安全技術監(jiān)察規(guī)程》(1999年)等相關規(guī)定。
2、氧是一種強氧化劑。與可燃物質和還原性物質發(fā)生反應,有著火和爆炸危險。
3、液氧迅速蒸發(fā)可能引起凍傷,在極高濃度時刺激呼吸道 ,可能對中樞神經系統(tǒng)有影響。 凍傷時,用大量水沖洗,不要脫去衣服 ,給予醫(yī)療護理 。
4、浸飽液氧的工作服可能有嚴重的火災危險。不要在火焰或高溫表面附近或焊接時使用 。
5、與氧接觸時,禁止明火 、禁止火花和禁止吸煙。禁止與易燃物質接觸。禁止與還原劑接觸。 周圍環(huán)境著火時,允許 使用各種滅火劑。
6、液氧泄漏時應保持通風并移除全部引燃源,不要用鋸末或其他可燃吸收劑吸收。切勿直接向液體上噴水 。
7、貯存氧的地點應是陰涼場所,具備耐火條件。 氧應與可燃物質和還原 物質分開存放。
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工業(yè)氧和醫(yī)用氧有什么不同?
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