電子混合氣體廣泛用于大規(guī)模集成電路（L.S.I）超大規(guī)模集成電路（V.L.S.I）和半導體器件生產(chǎn)中，主要用于氣相外延（生成）、化學氣相淀積、摻雜（雜質 擴散）、各類蝕刻和離子注入等工藝中。